电子工艺  

出　　处：《电子科技文摘》2006年第2期33-34,共3页Sci.& Tech.Abstract

摘　　要：IELDVD068:9849 0603383 2005年微电子测试结构会议录=2005 International Conference on Microelectronic Test Structures[会,英]／ IEEE Electron Devices Society．-P．270(E) 本会议录收集了会上发表的100篇论文,内容涉及90nm CMOS工艺,深亚微米CMOS铜互连工艺失效分析测试,硅片微波测量增强信号端隔离容量。

关 键 词：电子工艺 蒸发源 强酸性水 会议录 会议资料 半导体光电 互连工艺 集成电路工艺 全定制 薄膜均匀性 微电子测试 电路参数测量 实验参数 铁磁性 复合膜 晶片键合 薄膜材料 

分 类 号：TN[电子电信]