新型非致冷红外探测器  

New Type of Uncooled Infrared Detector

作　　者：刘兴明[1] 韩琳[1] 刘理天[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所,北京100084

出　　处：《半导体光电》2005年第5期374-377,385,共5页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：介绍了近年来出现的各种新型非致冷红外探测器,对不同探测器的基本工作原理、器件结构、制作工艺以及性能的优缺点进行了讨论和对比,并对非致冷红外探测器的改进方向进行了预测。Various kinds of new uncooled infrared detectors recently developed are described. The basic mechanisms, device structures, technology and their performances are discussed and compared, and the optimizing orientation also is predicted.

关 键 词：非致冷红外探测器 微测辐射热计 非晶硅薄膜晶体管 红外探测器 机械式探测器 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]