128×160元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面阵列  

A 128×160 Pixel GaAs/AlGaAs Multi-Quantum Well Long-Wavelength Infrared Photodetector Focal Plane Array

作　　者：苏艳梅[1] 种明[1] 张艳冰[2] 胡小燕[2] 孙永伟[1] 赵伟 陈良惠[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室,北京100083 [2]中国电子科技集团第十一研究所(华北光电所),北京100015 [3]中科光电有限公司,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2005年第10期2044-2047,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2002AA313100)~~

摘　　要：研制了128×160元GaAs/AlGaAs多量子阱红外焦平面阵列,它是目前国内报道的最大像元数的量子阱红外焦平面阵列.77K时,器件的平均黑体响应率Rv=2.81×107V/W,平均峰值探测率Dλ=1.28×1010cm·W-1·Hz1/2,峰值波长λp=8.1μm,器件的盲元率为1.22%.A 128× 160 long-wavelength GaAs/AIGaAs quantum well infrared photodetector （QWIP） focal plane array （FPA） was developed. It is the biggest FPA reported in China. At 77K,the average blackbody responsivity Rv =2.81× 107V/W is obtained with the peak wavelength λp=8.1μm. The average peak detectivity is Dλ^＊=1.28×10^10cm·W^-1·Hz^1/2. The ratio of dead pixels is 1.22 %.

关 键 词：红外探测器 量子阱 焦平面阵列 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]