一种快速响应双稳态热执行器的结构设计  

Structure Design of a Quick Respond Bistable Thermal Actuator

作　　者：姜政[1] 丁桂甫[1] 张东梅[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030

出　　处：《微纳电子技术》2005年第10期469-472,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140);国家自然科学基金资助项目(10377009)

摘　　要：利用ANSYS有限元分析软件并结合工艺条件,就其中的热执行按照快速响应的特点,对各结构参数与热执行器部件的驱动力、驱动位移、电阻、响应时间等驱动性能的影响进行了分析与仿真,从而得到了优化结构设计。此设计所要达到的目标是,热执行器驱动电压为5V,响应时间为2ms,末端最大位移为3.16×10-4m,末端位移20μm时的驱动力为4.94×10-3N。To design the quick responding structure, the relationship between the structure parameters and the thermal actuator capability were simulated and analyzed. The optimize structure was obtained. It exhibits that drive voltage is 5 V, the respond time is 2 ms, the maximum end displacement is 3.16×10^-4m, and the drive force is 4.94×10^-3N when the end displacement is 20μm.

关 键 词：热执行器 响应 微机电系统 结构设计 

分 类 号：O551.3[理学—热学与物质分子运动论] TH703[理学—物理]