梯度过渡涂层的制备  

作　　者：李戈扬[1,2] 王岱峰[1,2] 王公耀 李鹏兴[1,2] 张流强[1,2] 郑永铭[1,2] 

机构地区：[1]上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 [2]中国工程物理研究院

出　　处：《功能材料》1996年第2期183-192,共10页Journal of Functional Materials

基　　金：中国工程物理研究院基金

摘　　要：本文采用多靶磁控溅射技术制备ＴｉＣ／Ａｌ界面梯度过渡层，过渡层由ＴｉＣ和Ａｌ的成分梯度变化组成，其成分由Ａｌ基体侧平缓过渡到ＴｉＣ涂层侧。梯度过渡层的成分变化经ＡＥＳ测定，并用光学金相显微镜观察了涂层形貌。实验结果表明，当梯度层厚度大于某临界值后。

关 键 词：磁控溅射 梯度涂层 内应力 涂层 

分 类 号：TG174.44[金属学及工艺—金属表面处理]