郑永铭

作品数：3被引量：14H指数：2
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供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
发文主题：磁控溅射内应力钛硼TI更多>>
发文领域：金属学及工艺理学更多>>
发文期刊：《上海交通大学学报》《功能材料》更多>>
所获基金：中国工程物理研究院基金更多>>
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双靶反应溅射Ti-B-N复合膜的研制被引量：9
《上海交通大学学报》1997年第4期108-113,共6页李戈扬 王公耀 吴亮 李鹏兴 张流强 郑永铭 
中国工程物理研究院基金;华东分析测试中心资助
采用基片架旋转的多靶磁控溅射仪，通过六方氮化硼（ｈ－ＢＮ）和Ｔｉ靶反应溅射制备Ｔｉ－Ｂ－Ｎ复合薄膜，并用ＡＥＳ、ＸＲＤ和ＴＥＭ等方法研究了薄膜的微结构．结果表明，室温下沉积薄膜均呈非晶态，经过４００°Ｃ热处理薄膜晶化...
关键词：磁控溅射 双靶反应溅射 薄膜 钛-硼-氮复合膜 
界面梯度对TiN／不锈钢涂层应力的影响被引量：2
《功能材料》1996年第6期569-572,共4页李戈扬 漆玄 施晓蓉 李鹏兴 张流强 郑永铭 
气相沉积表面涂层在科学技术各领域得到广泛应用，然而，由于涂层与基体在化学和物理性质上的差异，使得涂层与基体在界面两侧产生结构和性能上的突变，影响了涂层功能的充分发挥。为此，采用多靶磁控溅射技术制备了具有梯度过渡层的Ｔ...
关键词：磁控溅射 界面梯度 涂层 内应力 不锈钢 氮化钛 
梯度过渡涂层的制备被引量：3
《功能材料》1996年第2期183-192,共10页李戈扬 王岱峰 王公耀 李鹏兴 张流强 郑永铭 
中国工程物理研究院基金
本文采用多靶磁控溅射技术制备ＴｉＣ／Ａｌ界面梯度过渡层，过渡层由ＴｉＣ和Ａｌ的成分梯度变化组成，其成分由Ａｌ基体侧平缓过渡到ＴｉＣ涂层侧。梯度过渡层的成分变化经ＡＥＳ测定，并用光学金相显微镜观察了涂层形貌。实验结果表...
关键词：磁控溅射 梯度涂层 内应力 涂层 
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