半导体器件制造中的碱腐蚀  

作　　者：宾雪生 

机构地区：[1]贵阳八七三厂

出　　处：《半导体技术》1996年第1期55-56,共2页Semiconductor Technology

摘　　要：在某些半导体器件制造中用碱腐蚀可使器件性能稳定，成品率提高。并对这一优点作了简要原因分析，提出了其注意事项。

关 键 词：半导体器件 碱腐蚀 玻璃钝化 制造 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]