Si基热光可调谐窄带平顶滤波器  

Fabrication of a Novel Si-Based Thermo-Optical Tunable Flat-Top Filter with Narrow Band

作　　者：左玉华[1] 蔡晓[1] 毛容伟[1] 王启明[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2005年第11期2218-2222,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000036603);国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312010);国家自然科学基金(批准号:90401001;60036010)资助项目~~

摘　　要：利用Si基键合技术、台阶型F-P腔结构以及Si良好的热光效应,研制了一种新型全Si基的热光调谐窄带平顶滤波器.器件的平顶宽度为2nm,3dB带宽为4·4nm,自由谱宽约为8·5nm,在外加电场作用下,共振峰红移3·3nm.Based on a step-type F-P cavity structure, a novel all Si-based thermo-optical tunable flat-top filter with narrow band is fabricated,using our patent SOR（silicon-on-reflector） bonding technology. The device demonstrates a flat-top width of 2nm, 3dB band of 4.4nm,FSR（free spectra range） of 8.5nm,and a red-shift of the transmittance peak of 3.3nm under the applied voltage

关 键 词：平顶滤波器 热光调谐 SI基 窄带 

分 类 号：TN713[电子电信—电路与系统]