新型箔式锰铜超高压力传感器  

New Foil Manganin Gauges

作　　者：崔红玲[1] 杨邦朝[1] 杜晓松[1] 周鸿仁[1] 滕林[1] 

机构地区：[1]电子科技大学电子工程学院电子实验中心,成都610054

出　　处：《材料导报》2005年第F11期464-465,共2页Materials Reports

基　　金：“十五”电子预研资助项目（AW030412）

摘　　要：为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限，须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层。用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层，代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜，从根本上消除高压旁路效应，提高传感器的测压上限。初步的动态超高压测试结果表明，该传感器所承受的压力为54．55GPa，压阻系数为0．0237GPa，延续时间可达1．6μs。In order to extending the measurement range of manganin gauges, the manganin sensing elements are encapsulated in inorganic material. Al2O3 thin film is deposited on both sides of manganin fiols. Consequently, the high-pressure shunt effect is eliminated radically and the measurement range is extended. According to the initial dynamic high-pressure test, the pressure of the new sensor endured is up to 54. 55GPa. The sensor records show its piezoresistance coefficient is 0. 0237 GPa^-1 and its lifespan 1.6μs.

关 键 词：箔式锰铜传感器 AL2O3薄膜 动态高压测试 超高压力传感器 绝缘层 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]