真空微电子传感器的研究  

出　　处：《真空电子技术》2005年第5期50-50,共1页Vacuum Electronics

摘　　要：真空微电子学（VME）是研究利用现代微细加工技术在芯片上制造集成化的微型真空电子器件的一门新兴的前沿学科。1988年第一届国际真空微电子学会议之后，VME领域的研究工作十分活跃。真空微电子传感器具有抗辐射、体积小、灵敏度高、温度稳定性好，以及制作工艺与集成电路（IC）及微电子机械系统（MEMS）工艺类似，便于集成化批量生产等优点，在航空、航天、智能机器人等高科技领域有很好的应用前景。

关 键 词：真空电子器件 电子传感器 真空微电子学 微电子机械系统 微细加工技术 制作工艺 温度稳定性 高科技领域 智能机器人 集成电路 

分 类 号：TN103[电子电信—物理电子学] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]