LIGA技术  

LIGA Technology

作　　者：孙洪强 徐宇新（审核） 

出　　处：《导航与控制》2005年第4期34-34,共1页Navigation and Control

摘　　要：LIGA这一词来源于德文缩写，LI（Lithographie意即深度X射线刻蚀），G（Gulvanik意即电铸成型），A（Abformung意即塑料铸模），即深度X射线刻蚀、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的一种综合性加工技术，它是进行非硅材料三维立体微细加工的首选工艺。LIGA技术制作各种微图形的过程主要由两步关键工艺组成。

关 键 词：LIGA技术 电铸成型 关键工艺 加工技术 微细加工 三维立体 技术制作 X射线 硅材料 微图形 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]