电铸成型

作品数：20被引量：60H指数：3
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相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
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相关机构：南京理工大学广东工业大学南京航空航天大学昆山美微电子科技有限公司更多>>
相关期刊：《表面工程与再制造》《中国学术期刊文摘》《光学精密工程》《纺织器材》更多>>
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微模具重复利用的高深宽比铜微结构微电铸复制技术
《微纳电子技术》2024年第4期162-169,共8页苏少雄 孙云娜 宋嘉诚 吴永进 姚锦元 丁桂甫 
国家自然科学基金项目(62174108)。
针对紫外线光刻、电铸成型和注塑(UV-LIGA)工艺的去胶难题,提出了一种以脱模代替去胶的改良工艺,用于批量制造高深宽比铜微结构。该工艺以可重复利用的硅橡胶软模具代替传统的SU-8光刻微模具,采用硅通孔(TSV)镀铜技术进行微电铸填充,然...
关键词：紫外线光刻、电铸成型和注塑(UV-LIGA)工艺 硅橡胶模具 硅通孔(TSV)镀铜 脱模 模具重复利用 
精细金属掩模板用近零夹杂Invar合金制备技术
《矿冶》2024年第1期70-78,95,共10页任为 余瑜 张帅 郭占成 
国家自然科学基金资助项目(52174275)。
Invar合金是制备精细金属掩模板(Fine Metal Mask,简称FMM)的重要基材,其纯净度直接影响FMM的质量以及有机发光二极管(Organic Light EmittingDiode,简称OLED)技术的发展水平。首先概述了FMM的主要制备技术,介绍了对FMM基材Invar合金的...
关键词：精细金属掩模板(FMM) Invar合金 电铸成型 超重力 夹杂物脱除 
微模具电铸成型工艺研究被引量：1
《铸造技术》2018年第12期2641-2645,共5页何俊峰 郑文书 秦艳 郭钟宁 
国家自然科学基金(51575113);国家自然科学基金广东省联合基金(U1601201);广州市非传统制造与设备重点实验室(201605030007)资助项目
针对微细电铸成型技术中微流道模具的铸层均匀性、铸层气孔和表面粗糙度等工艺问题,提出了控制成型过程中阴极电流密度、增加辅助阴极和阴极平动的方法。通过正交实验对基底蚀刻深度、光刻掩膜厚度、电铸槽温度和阴极电流密度等因素进...
关键词：微细电铸 微模具 微结构 表面质量 
再制造中的电镀技术被引量：2
《表面工程与再制造》2018年第1期19-22,共4页刘仁志 
前言在我国的语境中,'再制造'不是那种耳熟能详的词汇,别说在日常生活生产中,就是在工业领域,也只是偶尔提及的概念。因此,在谈论再制造课题时,少不了要对这个概念进行一些解释。我们从网上可以查到关于再制造的名词解释:'再制造(Remanu...
关键词：电镀技术 再制造 电铸成型 装饰性电镀 装饰镀层 金属材料 合金镀层 复合镀层 
现代制造需强大表面工程业支撑
《装备制造》2016年第7期51-51,共1页刘仁志 
无论是日用工业产品还是专业工业产品,都要用到表面处理技术中的一种或几种技术和工艺,以实现产品设计或市场需要的功能。可以说没有表面工程,就没有现代制造。表面精饰业虽然很专业,但是与大众生活和现代制造密切相关。表面处理技术中...
关键词：表面工程 现代制造 电铸成型 印制线路板 工业产品 涂料施工 纳米材料 表面技术 产品设计 电镀加工 
Ф50mm石英非球面零件批量化生产数控研抛技术的应用研究
《国防制造技术》2012年第3期57-60,共4页汪显勇 刘志军 张继弓 
非球面光学元件的加工技术在近些年有了一定的发展,如计算机数控单点金刚石车削技术、光学玻璃透镜模压成型技术、光学塑料成型技术、计算机数控研磨和抛光技术、环氧树脂复制技术、电铸成型技术以及传统的研磨抛光技术等。目前,世界先...
关键词：非球面 mm 数控加工 计算机数控 抛光技术 电铸成型 计算机自动控制 批量化生产 模压成型 数控铣 
金属微结构电铸成型的流场性能研究
《压电与声光》2010年第6期1005-1008,共4页郑晓虎 刘远伟 顾锋 
江苏省高校自然科学重大基础研究基金资助项目(09KJA460001)
为改善高深宽比金属微结构的电铸成型质量,在分析微细电铸的流场特性的基础上,深入研究了铸层厚度的不均匀现象及搅拌方式、流场分布对微细电铸的影响。由于高深宽比胶膜的存在,单一搅拌对电铸区域的影响只集中在微区的入口部分。扩散...
关键词：微细电铸 微结构 流场 仿真 
电化学工程
《中国学术期刊文摘》2008年第18期226-227,共2页
掩模电镀镍微结构的镀层均匀性研究;微小型燃料电池测试系统的气体流量控制;金属微结构阵列的电铸成型;304不锈钢管焊缝区碱性腐蚀的电化学噪声检测;钼酸盐对镁合金在模拟冷却水中腐蚀的抑制作用.
关键词：电化学工程 电池测试系统 碱性腐蚀 模拟冷却水 流量控制 电铸成型 噪声检测 不锈钢管 
金属微结构阵列的电铸成型被引量：8
《光学精密工程》2008年第3期473-477,共5页郑晓虎 朱荻 
国家自然科学基金资助项目(No.50375073)
在分析微细电铸的电场与流场特性的基础上,深入研究了铸层厚度的不均匀现象及搅拌方式和电流密度对微细电铸质量的影响。由于高深宽比胶膜的存在,单一搅拌对电铸区域的影响只集中在微区的入口部分,扩散过程成为金属沉积的限制性因素;随...
关键词：UV-LIGA 微结构 微细电铸 仿真 
LIGA技术
《导航与控制》2005年第4期34-34,共1页孙洪强 徐宇新（审核） 
LIGA这一词来源于德文缩写，LI（Lithographie意即深度X射线刻蚀），G（Gulvanik意即电铸成型），A（Abformung意即塑料铸模），即深度X射线刻蚀、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的一种综合性加工技术，它是进行非硅材料三维立体微细...
关键词：LIGA技术 电铸成型 关键工艺 加工技术 微细加工 三维立体 技术制作 X射线 硅材料 微图形 
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