微机电惯性仪表  

Micro-electro-mechanical Anical Inertial Instruments

作　　者：王巍 赵采凡（审核） 

出　　处：《导航与控制》2005年第4期49-50,共2页Navigation and Control

摘　　要：微机电惯性仪表是指无机械运动的微型集成化惯性仪表，如集成化的光纤陀螺或力传感器，是20世纪80年代以来采用新兴的MEMS技术研制和开发的微小型化惯性仪表。根据所用基体材料的不同，分为硅微惯性仪表和石英谐振类惯性仪表。硅微惯性仪表包括：硅微机械陀螺仪、硅微机械加速度计及其组成的硅微型惯测组合。

关 键 词：惯性仪表 微机电 硅微机械陀螺仪 20世纪80年代 硅微机械加速度计 机械运动 力传感器 光纤陀螺 微小型化 技术研制 

分 类 号：V241.622[航空宇航科学与技术—飞行器设计] TH-39[机械工程]