硅微机械加速度计

作品数:6被引量:24H指数:3
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姿态参照系统中硅微机械加速度计的温度补偿被引量:3
《仪表技术与传感器》2009年第1期12-14,17,共4页符强 马炳和 常洪龙 
微机械加速度计的输出受到环境温度的影响。文中以姿态参照系统为例,通过温度实验,得到了姿态参照系统中的微机械加速度计在不同温度下的输出,通过数据拟合建立了静态温度模型,对加速度计的零偏和标度因子进行了补偿。在姿态参照系统中...
关键词:微机械加速度计 姿态参照系统 温度补偿 
微机电惯性仪表
《导航与控制》2005年第4期49-50,共2页王巍 赵采凡(审核) 
微机电惯性仪表是指无机械运动的微型集成化惯性仪表,如集成化的光纤陀螺或力传感器,是20世纪80年代以来采用新兴的MEMS技术研制和开发的微小型化惯性仪表。根据所用基体材料的不同,分为硅微惯性仪表和石英谐振类惯性仪表。硅微惯性...
关键词:惯性仪表 微机电 硅微机械陀螺仪 20世纪80年代 硅微机械加速度计 机械运动 力传感器 光纤陀螺 微小型化 技术研制 
硅微加速度计
《导航与控制》2005年第4期20-20,共1页邢朝洋 赵采凡(审核) 
硅微加速度计(硅微机械加速度计)是一种微电子技术和微机械加工技术相结合的惯性仪表。其检测质量可以做到几毫克,硅微加速度计敏感元件采用单晶硅或多晶硅材料制作而成,加工工艺包括体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺和HGA工...
关键词:硅微加速度计 微机械加工工艺 微机械加工技术 硅微机械加速度计 微电子技术 惯性仪表 检测质量 敏感元件 控制方式 检测方式 
电容式硅微机械加速度计系统的特性研究被引量:10
《宇航学报》2005年第4期446-449,共4页吉训生 王寿荣 
微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,影响其性能有多方面的因素。现详细分析了电容式微加速度计敏感模态的工作原理,阐述了不同情况下提高加速度计静态灵敏度所应采取的措施,给出了加速度计三种振动模态的谐振频率与...
关键词:微加速度计 模态 灵敏度 
基于谐振原理的硅微机械加速度计被引量:9
《微纳电子技术》2003年第7期271-273,共3页贾玉斌 郝一龙 钟莹 张嵘 
基于力学振动原理 ,导出敏感梁类谐振振动的微分方程 ,给出了振梁型加速度计的设计原理。指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关 ;为避免输出非线性频率信号 。
关键词:谐振原理 硅微机械加速度计 类谐振器 非线性频率 激励振动 谐振传感器 
谐振原理在硅微机械加速度计中的应用被引量:2
《传感器技术》2002年第4期1-3,共3页钟莹 张国雄 李醒飞 
将谐振原理应用于硅微机械加速度计中 ,可以改善后者输出信号的质量 ,降低检测难度。随着微机电系统工艺的发展 。
关键词:谐振原理 硅微机械加速度计 微机电系统 
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