谐振原理在硅微机械加速度计中的应用  

Applications of resonant principle in the micro accelerometer

作　　者：钟莹[1] 张国雄[1] 李醒飞[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《传感器技术》2002年第4期1-3,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：将谐振原理应用于硅微机械加速度计中 ,可以改善后者输出信号的质量 ,降低检测难度。随着微机电系统工艺的发展 。If resonant elements are adopted in MEMS accelerometer,the quality of the signal output can be improved,and therefore the detection will be easier.With the development of MEMS technic,resonant accelerometer has become a new trend.

关 键 词：谐振原理 硅微机械加速度计 微机电系统 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]