微机电系统  

Micro - electro-mechanical Systems

作　　者：王巍 赵采凡（审核） 

出　　处：《导航与控制》2005年第4期51-52,共2页Navigation and Control

摘　　要：微机电系统（Micro—electro—mechanical Systems，简称MEMS）技术是建立在微米／纳米技术（micro／nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米／纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、

关 键 词：微机电系统 微米/纳米技术 SYSTEMS 微电子机械系统 21世纪 纳米材料 机械构件 光学系统 驱动部件 微型系统 

分 类 号：TH-39[机械工程] TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]