YZ-1型硅压阻型集成压力传感器  

出　　处：《传感器世界》2005年第12期46-46,共1页Sensor World

摘　　要：YZ-1型硅压阻型集成压力传感器可用于近程或远程流体压力的测定、显示，进而达到自控的目的．该产品的测压量程为0～1MPa．适用温度范围为．10～50℃或-20～40℃，以（100）硅片为基础村料．背面经各向异性腐蚀后产生方形杯，杯底构成弹性膜。YZ-1型硅压阻型集成压力传感器采用方形膜及有限力学优化设计．力敏电阻布置合理．充分利用应力效应，

关 键 词：集成压力传感器 压阻型 硅片 1型 各向异性腐蚀 流体压力 温度范围 应力效应 力敏电阻 优化设计 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]