压阻型

作品数：11被引量：26H指数：3
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浅谈压电/压阻型压力传感器的频响校准
《设备管理与维修》2024年第4期I0002-I0002,共1页
目前大部分的压力传感器厂家出厂时提供的校准报告通常为非线性度校准报告,提供了压力传感器的灵敏度以及非线性度。除非客户要求,厂家一般不提供压力传感器的频响校准。PCB公司的压力传感器只在元件生产过程中进行谐振频率(上升时间使...
关键词：压力传感器 非线性度 动态压力 标准器 激波管 频响特性 快开阀 频率响应 
介观压阻型硅微压力传感器仿真分析被引量：1
《电子技术（上海）》2009年第4期53-56,共4页王伟 温廷敦 
为了突破传统机电转换局限,提高压力传感器灵敏度,提出以介观压阻效应[1]为工作原理制作高灵敏度的硅微压力传感器,设计了一种圆形的平膜片结构,建立其三维实体有限元模型,通过理论分析与仿真计算,得出该结构的尺寸对其灵敏度、固有频...
关键词：介观压阻效应 压力传感器 有限元 灵敏度 
介观压阻型硅锗加速度计研究被引量：3
《微电子学与计算机》2009年第3期22-25,共4页温银萍 温廷敦 
国家自然科学基金项目(60776062)
提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度压阻式硅锗加速度计,采用Si1-xGex/Si结构薄膜作为敏感元件,设计了一个双悬臂梁式的压阻式硅锗加速度计.通过理论分析与仿真计算,得出通过调整对该结构的外加应力可以实现对传感器灵敏度的调节...
关键词：介观压阻效应 加速度计 灵敏度 双悬臂梁 
介观压阻型微压力传感器设计被引量：2
《电子设计工程》2009年第2期102-103,共2页王伟 温廷敦 
国家自然科学基金资助项目(60776062)
运用共振隧穿双势垒(DBRT)结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应,用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件,设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较,验证了介观压阻效应原理...
关键词：传感器 共振隧穿 介观压阻效应 周边固支平膜片结构 灵敏度 
用双桥法减小压阻型传感器的温度漂移被引量：1
《物理测试》2005年第6期60-62,共3页鲁百佐 刘志存 
论述了温度对压力传感器输出灵敏度的影响,为了减小传感器输出的温度漂移,利用双惠斯登电桥方法进行补偿,在300～373 K的温度范围内对传感器进行了测试.结果表明,采用双桥法补偿后,传感器输出的温度漂移可以降低70%以上.
关键词：压力传感器 双桥法 温度漂移 补偿 灵敏度 
YZ-1型硅压阻型集成压力传感器
《传感器世界》2005年第12期46-46,共1页
YZ-1型硅压阻型集成压力传感器可用于近程或远程流体压力的测定、显示，进而达到自控的目的．该产品的测压量程为0～1MPa．适用温度范围为．10～50℃或-20～40℃，以（100）硅片为基础村料．背面经各向异性腐蚀后产生方形杯，杯底构成...
关键词：集成压力传感器 压阻型 硅片 1型 各向异性腐蚀 流体压力 温度范围 应力效应 力敏电阻 优化设计 
压阻型压力传感器的零点温漂及其补偿技术被引量：10
《半导体杂志》1999年第4期40-49,共10页孙以材 魏占永 孙新宇 高振斌 刘惠丽 
国家自然科学基金!(69672015);河北省自然科学基金
本文分析了压阻型压力传感器的零点温漂产生的原因，并介绍几种补偿技术。
关键词：压力传感器 零点温漂 补偿技术 传感器 
压阻型集成电路封装应力测试芯片的研究与应用被引量：2
《Journal of Semiconductors》1998年第11期812-817,共6页贾松良 朱浩颖 罗艳斌 
本文介绍了一种（１００）硅片上的压阻型集成电路封装应力测试芯片的设计、制造、校准和应用测量情况．该应力测试芯片包含双极性４元素应力测试单元和偏轴３元素压阻系数校准单元．所用应力测试单元具有温度补偿、灵敏度高、抑制工艺...
关键词：压阻型 集成电路 封装 应力测试芯片 
压阻型压力传感器灵敏度温漂及其补偿技术被引量：8
《半导体杂志》1998年第1期38-44,共7页孙新宇 王鑫 高振斌 孟庆浩 杨瑞霞 孙以材 
就压阻型压力传感器的灵敏度温漂问题进行述评，分析了灵敏度温漂产生的原因并提出解决灵敏度温漂的多种补偿方法。
关键词：压力传感器 灵敏度温漂 补偿技术 
压阻型α((6H)碳化硅压力传感器可在高达600℃的高温下工作
《电子产品世界》1997年第2期94-94,共1页Roger Allan 晓萍 
新泽西州Leonia的Kulite Semi-conductor Products公司的研究人员研制成功一种基于膜片的压阻碳化硅(SiC)压力传感器,其工作温度可能超过600℃。这么高的温度范围远超过目前的常规硅传感器。KuliteSemiconductor Products公司首批生产...
关键词：碳化硅 压力传感器 传感器 压阻型 
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