MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展  

Progress in Research on Shape Memory Alloy Films in MEMS Field

作　　者：章磊[1] 谢超英[1] 吴建生[1] 

机构地区：[1]上海交通大学材料科学与工程学院教育部高温材料及测试重点实验室,上海200030

出　　处：《材料导报》2006年第2期109-113,共5页Materials Reports

基　　金：上海市科技发展基金(02DJ14042);高等学校博士学科点专项科研基金(20020248037)

摘　　要：总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,Ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向。In the field of micro-electro-mechanical systems （MEMS）, the recent progresses in the fabricating and micro-machining process of the Ti-Ni shape memory alloy film （SMA） are summarized. At the same time, the researches on shape memory effect, machining property, antiseptic property, wear resistant property and mechanical property of SMA thin films are introduced in this paper. Based on these, the requirements for application and investigaring directions of SMA thin films in MEMS field are presented.

关 键 词：微机电系统 形状记忆合金薄膜 力学性能 微机电系统(MEMS) 形状记忆合金(SMA) 加工性能 微加工工艺 耐磨性能 

分 类 号：TN216[电子电信—物理电子学] TG139.6[一般工业技术—材料科学与工程]