微细台阶测量中工作台的模糊控制  

Fuzzy Control of the Stage in Step Height Measurement

作　　者：王云庆[1] 李庆祥[1] 周兆英[1] 

机构地区：[1]北京清华大学精密仪器与机械学系,100084

出　　处：《测控技术》1996年第1期30-31,共2页Measurement & Control Technology

摘　　要：在微细台阶的自动测量中，采用模糊控制的原理，使工作台运行达到快速、准确、平稳。?In the step height automatic measurement. theprinciple of fuzzy control is adopted. that enables the stageto move quickly. exactly and smoothly.

关 键 词：台阶测量 工作台 模糊控制 自动检测系统 

分 类 号：TP274.5[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]