王云庆

作品数：13被引量：8H指数：2
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供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文主题：弹性支承模糊控制工作台测量力轮廓仪更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《仪器仪表学报》《电子工业专用设备》更多>>
所获基金：“八五”国家科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
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接触式台阶测量仪弹性支承机构的仿真设计
《清华大学学报（自然科学版）》2000年第8期18-20,共3页白立芬 李庆祥 薛实福 王云庆 
国家"八五"科技攻关项目 !(85 - 70 4- 0 2 - 11) ;国家自然科学基金项目 !(5 9875 0 5 2
为合理设计接触式台阶测量仪 ,建立了它的简化数学模型 ,经理论计算 ,结果与理论值有较大误差。通过有限元分析软件、采用 8节点 6面体单元计算模型对机构进行数字仿真和分析。触针允许最大测量力为 8.2 6 7N,测量力变化率为 33.8N /m ...
关键词：台阶仪 接触测量 弹性支承 
十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验被引量：1
《实验技术与管理》2000年第1期19-21,共3页于水 白立芬 李庆祥 王云庆 
台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活...
关键词：十字片簧 弹性支承 测量机构 台阶测量仪 
LSI 薄膜台阶测量仪的研制
《仪器仪表学报》1998年第3期268-273,共6页王云庆 李庆祥 薛实福 周兆英 
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了...
关键词：台阶测量仪 触针 片簧支承 模糊控制 薄膜台阶 
亚微米微位移工作台升降模糊控制系统
《清华大学学报（自然科学版）》1998年第2期47-50,共4页王云庆 李庆祥 周兆英 
国家"八五"重点科技攻关项目
对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统，它具有亚微米级的运动精度，保证了工作台升降快速、准确，运行平稳，对触针无冲击。在台...
关键词：台阶测量 工作台 模糊控制 大规模集成电路 薄膜 
十字片簧弹性支承测量机构的特性分析与设计被引量：3
《机械设计》1997年第11期11-13,共3页王云庆 李庆祥 薛实福 周兆英 
在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数设计。实验测得：测量力变化率为３５．６Ｎ／ｍ，固有...
关键词：轮廓测量仪 片簧支承测量机 特性分析 
球冠形栅网曲率半径测量的实验研究
《仪器仪表学报》1997年第5期468-474,共7页李庆祥 王云庆 薛实福 徐毓娴 
本文采用精密机械——显微镜——ＣＣＤ摄像机——图像处理——光栅测量——计算机控制的测量方案。采用图象处理的方法实现了光学非接触对准，通过对栅网上数点进行最小二乘拟合，准确地得到了球冠形栅网的曲率半径。本文介绍了该测量...
关键词：球冠形栅网 图象处理 行波管 曲率半径 测量 
智能化的微细台阶测量系统
《仪器仪表学报》1996年第S1期389-390,共2页王云庆 李庆祥 薛实福 周兆英 
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大...
关键词：微细台阶 智能化 测量系统 测量原理 台阶测量仪 工作台 测量精度 测量软件 半导体生产工艺 触针 
触针式轮廓测量机构的动态分析及非线性误差的消除被引量：1
《仪器仪表学报》1996年第6期606-611,共6页王云庆 李庆祥 周兆英 薛实福 
在接触式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是实现高精度轮廓测量的关键。本文介绍了一种新型的十字片贫弹性支承的测量机构，建立了数学模型，对该机构的动态进行了分析，并得到触针测量力变化规律。同时，通过合理设计位移传感器的安...
关键词：轮廓仪 片簧支承 测量力 非线性误差 位移传感器 
接触式轮廊测量中触针测量力的分析被引量：2
《现代计量测试》1996年第1期18-21,17,共5页王云庆 李庆祥 周兆英 
接触式轮廓测量仪中，适当测量力的施加是十分重要的，本文介绍了依靠十字片簧弹性支承变形来提供测量力的测量机构．在分析其动态特性的基础上，导出了触针测量力的变化规律。
关键词：轮廓仪 片簧支承 触针 测量力 
微细台阶测量中工作台的模糊控制
《测控技术》1996年第1期30-31,共2页王云庆 李庆祥 周兆英 
在微细台阶的自动测量中，采用模糊控制的原理，使工作台运行达到快速、准确、平稳。
关键词：台阶测量 工作台 模糊控制 自动检测系统 
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