薛实福

作品数：40被引量：51H指数：4
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供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文主题：集成电路力传感器原子力显微镜显微镜线宽更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《中国机械工程》《仪器仪表学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划“八五”国家科技攻关计划更多>>
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微细台阶测量技术的发展现状被引量：5
《电子工业专用设备》2001年第2期1-6,共6页白立芬 李庆祥 薛实福 黄成伟 
国家自然科学基金资助项目 (5 9875 0 5 2 )
微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量...
关键词：微细台阶 纳米技术 接触式测量 非接触式测量 技术发展 集成电路 微机械结构 
十字片簧弹性支承机构的设计
《机械设计》2001年第3期18-19,30,共3页白立芬 李庆祥 于水 薛实福 
国家重大基础研究资助项目 !(G1 9990 3 - 0 7)
首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采...
关键词：台阶测量仪 弹性支承 有限元 集成电路 十字片簧 
接触式台阶测量仪弹性支承机构的仿真设计
《清华大学学报（自然科学版）》2000年第8期18-20,共3页白立芬 李庆祥 薛实福 王云庆 
国家"八五"科技攻关项目 !(85 - 70 4- 0 2 - 11) ;国家自然科学基金项目 !(5 9875 0 5 2
为合理设计接触式台阶测量仪 ,建立了它的简化数学模型 ,经理论计算 ,结果与理论值有较大误差。通过有限元分析软件、采用 8节点 6面体单元计算模型对机构进行数字仿真和分析。触针允许最大测量力为 8.2 6 7N,测量力变化率为 33.8N /m ...
关键词：台阶仪 接触测量 弹性支承 
基于LVDT的台阶信号拾取方法研究
《仪表技术与传感器》2000年第7期37-38,46,共3页白立芬 李庆祥 薛实福 于水 
大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点...
关键词：台阶测量仪 集成电路 LVDT传感器 信号拾取方法 
微型光机电系统及其制作被引量：1
《电子工业专用设备》2000年第3期1-7,12,共8页白立芬 李庆祥 薛实福 于水 
国家重点基础研究项目(G199903-07)
微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展。阐述了实现MOEMS的 2种技术手段 :光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关...
关键词：微型光机电系统 制作 集成电路工艺 
新型自扫描激光干涉系统
《光学技术》1998年第4期75-77,共3页徐毓娴 薛实福 李庆祥 
本文介绍了一种新型自扫描激光干涉系统的原理和结构。该系统采用自扫描光电二极管列阵（以下简称ＳＳＰＤＡ）接收器件，实现对干涉仪信号的调制，使测量信号转换成交流信号，避免了直流放大器零点漂移，消除了低频干扰。实验证明，该...
关键词：SSPDA 干涉仪 激光干涉系统 自扫描 
LSI 薄膜台阶测量仪的研制
《仪器仪表学报》1998年第3期268-273,共6页王云庆 李庆祥 薛实福 周兆英 
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了...
关键词：台阶测量仪 触针 片簧支承 模糊控制 薄膜台阶 
电子隧道传感器的原理、现状与发展被引量：5
《光学精密工程》1998年第2期1-6,共6页龙志峰 薛实福 李庆祥 
电子隧道传感器应用电子隧道原理对位移进行检测，结构简单，能耗低，它具有很高的灵敏度，并且不受尺寸限制，在微型化和集成化方面显示了良好的前景，各国科学家对电子隧道传感器进行了广泛的研究并制成了加速度计，红外探测器，磁强...
关键词：电子隧道传感器 传感技术 原理 现状 位移 
用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究
《光学精密工程》1998年第1期36-41,共6页王晓晔 薛实福 李庆祥 徐毓娴 白立芬 于水 
国家自然科学基金
应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构，并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。
关键词：有限元 原子力显微镜 力传感器 结构优化 
十字片簧弹性支承测量机构的特性分析与设计被引量：3
《机械设计》1997年第11期11-13,共3页王云庆 李庆祥 薛实福 周兆英 
在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数设计。实验测得：测量力变化率为３５．６Ｎ／ｍ，固有...
关键词：轮廓测量仪 片簧支承测量机 特性分析 
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