王晓晔

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文主题：力传感器原子力显微镜MEMS微装配微系统更多>>
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用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究
《光学精密工程》1998年第1期36-41,共6页王晓晔 薛实福 李庆祥 徐毓娴 白立芬 于水 
国家自然科学基金
应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构，并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。
关键词：有限元 原子力显微镜 力传感器 结构优化 
微器件装配系统与关键技术被引量：5
《光学精密工程》1997年第3期1-6,共6页李云平 龙志峰 李庆祥 王晓晔 薛实福 
微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。
关键词：微系统 微装配 MEMS 微机械电子学 
原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究被引量：2
《光学精密工程》1997年第2期43-49,共7页薛实福 徐毓娴 李庆祥 王晓晔 刘永生 于水 
国家自然科学基金
分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿...
关键词：微机械加工 原子力 显微镜 力传感器 
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