龙志峰

作品数：4被引量：18H指数：3
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发文主题：加速度计微硅MEMS虚拟仪器信号处理更多>>
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电子隧道加速度计输出信号的分析与处理被引量：7
《光学精密工程》2002年第1期8-13,共6页韩荔 龙志峰 李庆祥 白立芬 
国家自然科学基金项目 (No .5 9875 0 5 2 )
介绍了一种新型电子隧道加速度计的工作原理 ,详细分析了该加速度计输出信号的有效成分及噪声与干扰 ,设计了利用LabVIEW虚拟仪器开发平台的信号分析与处理程序。基于对电子隧道输出信号的分析 ,仿真了相应的模拟信号 ,并且通过对该模...
关键词：电子隧道加速度计 信号处理 虚拟仪器 信号分析 
微硅隧道加速度变送器的优化设计被引量：3
《仪器仪表学报》2001年第z2期193-1294,201,共3页龙志峰 韩荔 李庆祥 白立芬 
国家自然科学基金项目 (598750 52 )
本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器 ,其参数经有限元分析优化 ,并采用了平头隧道电极 ,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性 ,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行 。
关键词：隧道 加速度计 变送器 表面工艺 
电子隧道传感器的原理、现状与发展被引量：5
《光学精密工程》1998年第2期1-6,共6页龙志峰 薛实福 李庆祥 
电子隧道传感器应用电子隧道原理对位移进行检测，结构简单，能耗低，它具有很高的灵敏度，并且不受尺寸限制，在微型化和集成化方面显示了良好的前景，各国科学家对电子隧道传感器进行了广泛的研究并制成了加速度计，红外探测器，磁强...
关键词：电子隧道传感器 传感技术 原理 现状 位移 
微器件装配系统与关键技术被引量：5
《光学精密工程》1997年第3期1-6,共6页李云平 龙志峰 李庆祥 王晓晔 薛实福 
微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。
关键词：微系统 微装配 MEMS 微机械电子学 
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