韩荔

作品数：2被引量：8H指数：2
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：变送器加速度计微硅隧道优化设计更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》《光学精密工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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电子隧道加速度计输出信号的分析与处理被引量：7
《光学精密工程》2002年第1期8-13,共6页韩荔 龙志峰 李庆祥 白立芬 
国家自然科学基金项目 (No .5 9875 0 5 2 )
介绍了一种新型电子隧道加速度计的工作原理 ,详细分析了该加速度计输出信号的有效成分及噪声与干扰 ,设计了利用LabVIEW虚拟仪器开发平台的信号分析与处理程序。基于对电子隧道输出信号的分析 ,仿真了相应的模拟信号 ,并且通过对该模...
关键词：电子隧道加速度计 信号处理 虚拟仪器 信号分析 
微硅隧道加速度变送器的优化设计被引量：3
《仪器仪表学报》2001年第z2期193-1294,201,共3页龙志峰 韩荔 李庆祥 白立芬 
国家自然科学基金项目 (598750 52 )
本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器 ,其参数经有限元分析优化 ,并采用了平头隧道电极 ,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性 ,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行 。
关键词：隧道 加速度计 变送器 表面工艺 
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