检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]解放军电子工程学院研究所
出 处:《无人机》2005年第6期22-25,共4页
摘 要:微机电系统(MEMS)也称微系统,是指采用了微机械加工技术和微电子制造技术,并将现代信息技术应用其中而构成的微型系统。它将微传感器、微执行器、信号处理电路、自动控制电路以及计算机接口电路、远距离通信系统和电源集为一体,构成一个完整的系统。
关 键 词:MEMS技术 微型无人机 微机电系统(MEMS) 微机械加工技术 计算机接口电路 电子制造技术 信息技术应用 信号处理电路 自动控制电路 微型系统
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