中国半导体设备业发展的契机  

作　　者：王勃华[1] 

机构地区：[1]信息产业部信息产品管理司

出　　处：《中国集成电路》2006年第3期23-26,共4页China lntegrated Circuit

关 键 词：半导体设备 中国 分步重复光刻机 自动化生产线 半导体三极管 电子束曝光机 纯水处理系统 电力电子器件 平面工艺 外延设备 

分 类 号：F426.63[经济管理—产业经济]