深硼扩散工艺研究  

作　　者：肖兴阳 万积庆 

出　　处：《半导体杂志》1990年第3期34-35,共2页

关 键 词：硼 扩散 工艺 功率晶体管 晶体管 

分 类 号：TN323.405[电子电信—物理电子学]