相位光栅自动对准技术研究  

作　　者：庞亚军[1] 

机构地区：[1]电子工业部第四十五研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1996年第3期8-14,共7页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：阐述了相位光栅的成象原理，以及在分步曝光机关键技术自动对准上的应用，并对自动对准光路系统和电气控制系统进行了具体分析和研究。

关 键 词：相位光栅 空间滤波 曝光机 光刻 自动对准技术 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]