STM脉冲电压极性对材料微细加工影响的研究  

Influence of Pulse Polarity on Nano-Machining of Scanning Tunneling Microscope

作　　者：曾志刚[1] 严学俭[1] 邱伟民[1] 沈淼[1] 张莉[1] 朱国栋[1] 华中一[1] 

机构地区：[1]复旦大学材料科学系,上海200433

出　　处：《真空科学与技术学报》2006年第2期98-101,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：利用扫描隧道显微镜(STM)可对不同材料表面进行纳米级微细加工。在选取高定向裂解石墨(HOPG)和有机电双稳材料Ag-TCNQ分别进行直接刻蚀和电学改性的研究中,发现STM脉冲电压极性对实验结果有影响。本文为此构建了物理模型,分析表明在不同极性的脉冲电压下,分别主要呈现电场效应或电子轰击效应。需要针对具体材料的具体加工要求,选择STM相应的脉冲电压极性。Nano-machining of highly orientated pyrolitic graphite（HOPG） and Ag-TCNQ-an organic electrical bistable material-was performed with a scanning tunneling microscope（STM） in our study of lityography.We found that the pulse polarity applied to the STM significantly affects the nanostructures fabricated.Possible mechanisms,such as electron heating,electron tunneling and field emission,were tentatively proposed and discussed.

关 键 词：STM 刻蚀与改性 极性 脉冲电压 

分 类 号：TB43[一般工业技术] TN605[电子电信—电路与系统]