发展IC制造用材料 促进集成电路产业健康发展  

出　　处：《现代材料动态》2006年第5期19-20,共2页Information of Advanced Materials

摘　　要：世界集成电路还主要以硅集成电路为主，SOI、SiGe、GaAs等集成电路所占比例还不是很大。目前，硅集成电路正向大尺寸、窄线宽方向发展，现已发展到12英寸90nm水平。12英寸生产线在全世界已有40多条，而我国只有中芯国际在北京的1条生产线。

关 键 词：集成电路产业 IC制造 硅集成电路 材料 健康 SIGE GAAS 生产线 SOI 大尺寸 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]