金属微成形的工艺进展  

作　　者：雷鹍 丁水 王长丽 王国峰 张凯锋 

出　　处：《锻造与冲压》2006年第6期68-71,共4页Forging & Metalforming

摘　　要：MST.MEMS的产业化极大推动了微细加工技术的发展．先后出现了超精密机械加工、深反应离子蚀刻、LIGA及准LIGA技术、分子装配技术等。但是微型化产业所要求的大批量、高效率、高精度、高密集、短周期、低成本、无污染、净成形等固有特点制约了这些微细加工技术的广泛应用。人们不得不把视线转向传统的塑性成形工艺（冲裁、弯曲、拉延、拉深、超塑性挤压、起伏、压印等），因为在宏观制造领域．成形工艺恰恰具备这些产业优点。因此．

关 键 词：工艺进展 准LIGA技术 微成形 微细加工技术 超精密机械加工 超塑性挤压 金属 反应离子蚀刻 成形工艺 产业化 

分 类 号：TG306[金属学及工艺—金属压力加工] TQ465.9[化学工程—制药化工]