绝缘硅成本不受材料限制薄膜SOI未来增长潜力巨大  

出　　处：《电子工业专用设备》2006年第6期16-17,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：根据市场调研机构Semico Research日前发布的报告，绝缘硅（SOI）的增长势头将不会受限于材料成本，这与通常的看法相反。随着半导体工艺技术向纳米阶段发展，绝缘硅的价格实际上可能比块状硅（bulk silicon）还低，使之成为具有成本效益和吸引力的解决方案。

关 键 词：材料成本 绝缘硅 薄膜SOI 市场调研 工艺技术 成本效益 半导体 吸引力 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]