混合集成电路内部气氛研究  

作　　者：肖玲[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第24研究所,重庆400060

出　　处：《混合微电子技术》2006年第2期59-64,共6页Hybrid Microelectronics Technology

摘　　要：文章介绍了混合集成电路内部气氛控制办法。从截断气氛来源入手，从材料的选用、工艺参数的设置、工艺过程的控制等三方面进行了分析，在控制混合电路内部气氛上取得了明显效果。

关 键 词：混合集成电路 内部气氛控制 聚合材料 可靠性 

分 类 号：TN45[电子电信—微电子学与固体电子学]