直径为2mm电磁型微电动机的研究  被引量:9

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作  者:张寿柏[1] 张琛[1] 

机构地区:[1]信息存储研究中心

出  处:《上海交通大学学报》1996年第9期133-136,146,共5页Journal of Shanghai Jiaotong University

摘  要:运用微细加工方法研制新颖直径为2mm,速度可调的电磁型微电动机,并讨论了电磁型微电动机的驱动原理和制备方法。

关 键 词:电磁型 微电动机 微细加工 微机械 机器人 

分 类 号:TM38[电气工程—电机] TP242.6[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

参考文献:

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