智能化接触式干涉仪  

作　　者：陈吉武[1] 汪伟[1] 李雁飞 亓勇[2] 

机构地区：[1]中国计量学院 [2]浙江大学

出　　处：《上海计量测试》1996年第5期23-24,共2页Shanghai Measurement and Testing

摘　　要：本文叙述了智能化接触式干涉仪的基本原理和方法,即用CCD作为光电转换接收器,代替人眼工作;用单片机自动处理信号,代替手工处理。并分析了这样改进后的仪器精度上不仅未受损失,反而略有提高。

关 键 词：CCD 干涉仪 微机 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]