含Fe聚合物混合薄膜的制备  

作　　者：文晓刚[1] 

机构地区：[1]中国科学院成都有机化学研究所

出　　处：《四川真空》1996年第3期6-10,共5页

摘　　要：采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积技术（ＰＥＭＯＣＶＤ）制备含Ｆｅ聚合物混合薄膜，系统考查了偏压，源物加工热电压，沉积位置对膜沉积的影响，对膜的组成和结构进行了研究。

关 键 词：混合薄膜 薄膜 有机聚合物 化学气相沉积 

分 类 号：TB43[一般工业技术]