文晓刚

作品数:6被引量:15H指数:1
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供职机构:中国科学院成都有机化学研究所更多>>
发文主题:放电处理一体式分体式放电电极光催化剂更多>>
发文领域:理学化学工程一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊:《合成化学》《功能材料》《四川真空》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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等离子体技术制备Ni/α-Al_2O_3催化剂被引量:14
《天然气化工—C1化学与化工》2000年第1期15-18,共4页张勇 储伟 罗春容 周坤麟 文晓刚 曹伟民 
采用射频辉光放电等离子体技术制备了用于天然气部分氧化制合成气反应的α Al2 O3担载金属Ni催化剂。考察了该催化剂的反应活性、稳定性 ,并与常规方法制备的催化剂进行了比较。结果表明 ,采用等离子体技术制备的催化剂 ,具有操作简便...
关键词:等离子体技术 天然气 部分氧化 镍基催化剂 制备 
PECVD法制备的SnO_x气敏膜的色变机理
《功能材料》1998年第4期375-377,共3页张勇 周坤 曹伟民 文晓刚 
国家自然科学基金
采用PECVD法制备了非晶掺Sn有机膜,经过退火处理得到SnOx气敏膜,考察了退火过程和气敏响应过程的阻温特性和颜色变化的关系,研究了表面掺Ag对SnOx元件电阻、气敏性能以及颜色的影响,发现测量时膜表观色泽发生显著...
关键词:气敏膜 PECVD 半导体阻温特性 色变机理 氧化锡 
含铁聚合物薄膜的制备、结构和性能
《真空科学与技术》1998年第2期106-110,共5页文晓刚 周坤粦 曹伟民 张勇 刘维民 
国家自然科学基金!29374180
采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积(PEMOCVD)工艺制备含铁聚合物薄膜。考察了偏压、源物加热电压对膜的沉积速率及膜中Fe的填充系数的影响。用IR,XPS,TEM和TED对膜的组成和结构进行了分析,表明薄膜具有Fe团簇镶嵌在聚合...
关键词:含铁聚合物 薄膜 性能 化学气相沉积 填充系数 
工作气氛和偏压对含铁聚合物杂混薄膜制备的影响
《合成化学》1997年第1期11-13,共3页文晓刚 周坤粼 曹伟民 张勇 
国家自然科学基金
采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积(PEMOCVD)工艺,在氧化性气氛(O2)和非氧化性气氛(H2、Ar)中制备了含铁聚合物杂混薄膜。探讨了工作气氛和偏压对膜密度、沉积速率及其分布的影响。
关键词:工作气氛 含铁聚合物 杂混薄膜 PEMOCVD 
含Fe聚合物混合薄膜的制备
《四川真空》1996年第3期6-10,共5页文晓刚 
采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积技术(PEMOCVD)制备含Fe聚合物混合薄膜,系统考查了偏压,源物加工热电压,沉积位置对膜沉积的影响,对膜的组成和结构进行了研究。
关键词:混合薄膜 薄膜 有机聚合物 化学气相沉积 
冷等离子体制备铝的氧化物膜被引量:1
《合成化学》1996年第2期102-104,共3页张勇 周坤粦 曹伟民 文晓刚 
国家自然科学基金;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室资助
冷等离子体制备铝的氧化物膜张勇,周坤,曹伟民,文晓刚(中国科学院成都有机化学研究所,成都,610041)氧化铝是一种重要的无机材料,在微电子工业、机械工业及化学工业等方面有着广泛的应用前景。采用冷等离子体制备的氧化铝...
关键词:氧化铝膜 铝有机聚合物膜 冷等离子体 
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