CO_2团束的离化、加速及质量分离  

CO 2 Cluster Ion Beam Ionizing,Accelerating and Mass Separating

作　　者：田民波[1,2] 山田公[1,2] 

机构地区：[1]清华大学材料科学与工程系 [2]日本京都大学离子工学实验室

出　　处：《真空》1996年第6期17-22,共6页Vacuum

摘　　要：设计并制造了ＣＯ２离化装置——由电子轰击对团束进行离化，由电极电位进行加速，由阻止势进行质量分离。通过实验确定了最佳参数，其中包括：离化电子电流和电压、加速电压、阻止电势、供气压力等。A CO 2 cluster ion beam apparaturs was constructed-ionizing by an electron shower, accelerating by an electrode potential, and mass separating by a retarding potential.The optimum parameters, such as electron current and voltage for ionization, acceleration voltage, retarding voltage, gas inlet pressure, were determined by experiments.

关 键 词：气体离子团束 二氧化碳 加速 质量分离 离化 

分 类 号：O613.71[理学—无机化学]