山田公

作品数:6被引量:2H指数:1
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CO_2离化团束辐照Si表面形成SiO_2膜的分析被引量:1
《Journal of Semiconductors》1997年第10期755-760,共6页田民波 冯晓东 山田公 
由CO2离化团束辐照Si表面形成的氧化层的厚度与CO2团束大小及团束能量相关,而其成分接近SiO2在低辐照剂量下,氧化层增厚服从反应规律,而在高剂量下服从扩散规律.
关键词:二氧化碳  气体离化团束 二氧化硅 
气体离化团束对表面的平坦化及清洁化效果
《真空科学与技术》1997年第4期252-258,共7页田民波 山田公 
用原子力显微镜测量了气体离化团束照射后表面粗糙度的变化。已经证实气体团束轰击对表面沾污具有很高的清除率,同时却引起较低的损伤。气体离化团束优良的平坦化和清洁化效果可能与照射中多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的沉积相关。
关键词:气体离化团束 溅射 表面平坦化 表面清洁化 
气体离化团束溅射研究
《真空科学与技术》1997年第3期175-182,共8页田民波 山田公 
研究了CO2,Ar离化团束对不同金属系统及SiO2表面的溅射效应。离化团束的溅射产额比之单体离子束高100倍以上。气体离化团束的高溅射产额可能是由于多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的照射引起的。
关键词:团束 溅射产额 剂量 侧向溅射 气体离化 
CO_2离化团束对Si基板表面的辐照效应被引量:1
《Journal of Semiconductors》1997年第4期275-280,共6页田民波 山田公 
利用RBS和椭圆仪分析对CO2离化团束引起的硅表面的损伤进行了研究.实验发现,采用大尺寸团束照射,损伤程度小而且损伤层薄;团束尺寸越大,越容易形成低损伤的氧化层;随剂量增大,损伤部分发生氧化的比例增加,而且在单晶Si基板上经...
关键词:二氧化碳 气体离化团束  辐照效应 
CO_2团束的离化、加速及质量分离
《真空》1996年第6期17-22,共6页田民波 山田公 
设计并制造了CO2离化装置——由电子轰击对团束进行离化,由电极电位进行加速,由阻止势进行质量分离。通过实验确定了最佳参数,其中包括:离化电子电流和电压、加速电压、阻止电势、供气压力等。
关键词:气体离子团束 二氧化碳 加速 质量分离 离化 
超音速自由喷流形成CO2团束
《真空》1996年第4期27-32,共6页田民波 山田公 
设计并制造了喷咀——分流器系统以产生气体团束。为搞清气体团束的产生过程,进行了流体力学分析。
关键词:团束 气体团束 喷咀 超音速膨胀 流体力学 
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