涡轮分子泵  

出　　处：《集成电路应用》2006年第3期37-37,共1页Application of IC

摘　　要：Adixen ATH300是一种复合涡轮分子泵，能够提供强大的马达转矩，从而提高抽气速率。它有一个100毫米的入口法兰，在10-10到0．1毫巴的真空中，抽气速率能够达到300升／秒。这种泵具有便于快速装配的设计。它可以应用于CD／DVD以及其它的溅射工艺中，以及负荷固定和压力循环中。

关 键 词：涡轮分子泵 CD/DVD 抽气速率 快速装配 溅射工艺 压力循环 

分 类 号：TB752.27[一般工业技术—真空技术]