垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统  

A vertical scanning white-light interfering profilometer

作　　者：戴蓉[1] 谢铁邦[1] 常素萍[1] 

机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院

出　　处：《光学技术》2006年第4期545-547,552,共4页Optical Technique

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50175037)

摘　　要：依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量。Based on the white-light interference, a vertical scanning white-light interfering profilometer was designed. The stage to realize the vertical scanning motion is analyzed. The vertical positioning of the profilometer is lnm, and can be applied to measuring surface roughness, step height, film thickness etc.

关 键 词：表面三维形貌 白光干涉 微动工作台 有限元分析 

分 类 号：TG84[金属学及工艺—公差测量技术] TN253[电子电信—物理电子学]