检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]中国科学院等离子体物理研究所
出 处:《物理》1996年第10期608-613,635,共7页Physics
基 金:国家自然科学基金
摘 要:微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术,它具有优良的综合指标,提高了微电子、光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平.文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理。
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