电子回旋共振等离子体技术  被引量:6

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作  者:丁振峰[1] 邬钦崇[1] 任兆杏[1] 

机构地区:[1]中国科学院等离子体物理研究所

出  处:《物理》1996年第10期608-613,635,共7页Physics

基  金:国家自然科学基金

摘  要:微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术,它具有优良的综合指标,提高了微电子、光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平.文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理。

关 键 词:电子回旋共振 等离子体源 微波传输 

分 类 号:O531[理学—等离子体物理]

 

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