适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪  

作　　者：李彬[1] 梁晋文[1] 

机构地区：[1]东南大学机械系,清华大学精仪系

出　　处：《仪器仪表学报》1996年第6期658-661,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬，梁晋文（东南大学机械系南京２１００１８）（清华大学精仪系北京１０００８４）０引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念，可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下，延长干涉测量的非多值区间（ｕｎａｍｂｉｇｕｏｕｓ...

关 键 词：激光外差干涉仪 干涉仪 测量 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]