Tegal获得日本晶圆厂900系列蚀刻设备订单  

出　　处：《电子工业专用设备》2006年第9期50-50,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

关 键 词：等离子体蚀刻 900系列 设备设计 订单 晶圆 日本 纳米器件 制造商 半导体 公司 

分 类 号：TN405.982[电子电信—微电子学与固体电子学] TM773[电气工程—电力系统及自动化]