TbDyFe-FeNi多层膜/光纤磁传感器磁敏性能实验研究  

TbDyFe-FeNi Multilayers/Optic Fiber Magnetic Sensors

作　　者：吕凤军[1] 斯永敏[2] 傅国如[1] 徐志刚[1] 

机构地区：[1]北京航空工程技术研究中心,北京100076 [2]国防科技大学航天与材料工程学院,湖南长沙410073

出　　处：《半导体光电》2006年第4期419-422,共4页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：采用磁控溅射工艺制备了TbDyFe-FeNi多层膜／光纤复合结构，并搭建M-Z干涉仪磁场检测系统对复合结构的磁敏性能进行试验测试。实验结果表明，在调制磁场频率为复合结构的固有频率的条件下，系统对磁场信号感应强度最大；系统输出信号大小随调制磁场强度线性增加，添置恒定直流磁场后，系统响应信号大小明显增强。在0～48kA／m的直流磁场范围内，干涉仪（传感臂有效长度为10cm）信号响应灵敏度为6．05×10^-5rad／（√Hz·kA·m^-1）；当多层膜厚度增加到5／Lm时，干涉仪信号响应灵敏度变为6．07×10^-5rad／（√Hz·kA·m^-1）。By using DC magnetron sputtering, the composite structure of TbDyFe-FeNi multilayers is prepared,and its property of magnetic sensitivity is tested by M-Z interferometer. The results show that the sensors exhibit the largest responses against applied magnetic fields at the intrinsic frequency of the composite structure,and there is a good linearity between the output signal and the AC magnetic field. The detection sensitivity of 6.05×10^-5rad/（√Hz·kA·m^-1）is demonstrated in the range of 0~48 kA/m for the the effective cantilever length of 0.1 m,and the detection sensitivity of 6.07×10^-5rad/（√Hz·kA·m^-1）） is realized when the thickness of multilayers is 5 μm.

关 键 词：光纤磁场传感器 多层膜 干涉仪 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]