MOCVD的气动控制回路设计  

Design of Pneumatic Control for MOCVD

作　　者：高爱华[1] 刘卫国[1] 张伟[1] 周顺[1] 李岗[1] 

机构地区：[1]西安工业学院光电工程学院,陕西西安710032

出　　处：《液压与气动》2006年第9期38-40,共3页Chinese Hydraulics & Pneumatics

摘　　要：介绍了MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)液态源金属有机物化学气相沉积设备,研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路,实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性,确保了工艺的重复性和稳定性。

关 键 词：MOCVD 气动控制 气缸 可编程控制器 

分 类 号：TH138[机械工程—机械制造及自动化]