细铝电极条的湿法腐蚀的改进  

作　　者：吴克林 孙林 

出　　处：《电子工艺简讯》1989年第1期7-8,共2页

关 键 词：细铝电极条 湿法腐蚀 硅半导体器件 

分 类 号：TN305.2[电子电信—物理电子学]