一种压阻式三轴加速度传感器的设计  

The Design Of A Piezoresistive Three-Axis Accelerometer

作　　者：孙剑[1] 赵玉龙[1] 苑国英[1] 蒋庄德[1] 徐敬波[1] 

机构地区：[1]西安交通大学精密工程研究所机械制造系统工程国家重点实验室,西安710049

出　　处：《传感技术学报》2006年第05B期2197-2199,共3页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50535030;50475085);教育部"新世纪优秀人才支持计划"资助(NCET-05-0842)

摘　　要：介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化,确定加速度传感器的结构尺寸,并详细论述了三轴加速度传感器的制备工艺步骤和测试结果.The design and fabrication of a piezoresistive three-axis accelerometer based on SOI are prsented. The sensor consists of four vertical cantilever beams with attached masses of inertia. By locating the resistor logically formed the Wheatstone birdge, the sensor can measure the acceleration in three-direction. By analyzed and simulated, the accelerometer can be designed. The fabrication and test are presented.

关 键 词：加速度传感器 压阻效应 SOI MEMS 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]