基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器  

Micromachined Tunable Filter Based on InP/Air-gap Distributed Bragg Reflectors

作　　者：侯识华[1] 孙捷[2] 毛容伟[2] 吴旭明[2] 马骁宇[2] 谭满清[2] 陈良惠[2] 

机构地区：[1]华南理工大学物理科学与技术学院,广东广州510640 [2]中国科学院半导体研究所,北京100083

出　　处：《半导体光电》2006年第5期543-546,共4页Semiconductor Optoelectronics

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目(2001AA312180)

摘　　要：采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm。并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响。A 1 310 nm micromachined tunable Fabry-Perot filter based on InP/air-gap distributed Bragg reflectors（DBRs） is fabricated by using surface micromachining technology. The tuning range of the device with a 70 μm diameter mirror is 15 nm for a tuning voltage of 1.4 V, and the effect of incident angle on the FWHM of the transmittance peak of the device is analyzed by using optical transfer matrix method.

关 键 词：可调谐滤波器 InP/空气隙 分布布拉格反射镜 FABRY-PEROT 表面微机械技术 

分 类 号：TN713[电子电信—电路与系统]